等离子清洗机的工作原理是什么?

博易盛真空式等离子清洗机：

控制系统：PLC+触摸屏

电源：380V/AC,50/60Hz,3.7kw

射频电源功率：600W/13.56MHz

容量：80L

层数：8

单层有效电极面积：300*400mm

气体通道：两路 0-500slm,工作气体可选： Ar、N2、O2、CF4、H2 等

真空泵抽速：真空泵 TVP 油泵 TVP60M3/H

系统组成：

• 抽真空系统

• 等离子发生系统

• 工艺气体控制系统

• 全自动控制系统

等离子发生系统：

• 等离子发生系统包含等离子电源、等离子发生腔体等；

• 等离子电源采用高品质射频电源，频率 13.56MHz、0-600W，稳定性好，运行准确，精度高，能稳定提供等离子所需能量，保证等离子处理效果；

• 等离子发生腔体为专利设计真空腔体，结构简单，安装方便，处理效果强，均匀性高。

工艺气体控制系统：

• 等离子发生系统包含质量流量控制器、电磁阀、调压阀等；

• 质量流量控制器采用高品质控制器，量程 0-300sccm，重复精度<1%，控制精度<0.5%，精度高，反应迅速，使用寿命长；<>

• 电磁阀、调压阀均使用SMC品牌，可靠性高。