在线式等离子清洗机

工艺流程：

进料口自动上料-载板读码-等离子清洗-出料口自动下料/缓存。

应用领域：

适用于各类摄像头模组，晶圆片的精密清洗。

设备特点：

•本设备适用于与客户上下工站连线生产和本设备自动上下料单独生产两种方式；

•设备机架、外壳均采用双镜面SUS304不锈钢钣金，满足百级车间要求；

•设备操作高度为950mm，脚杯调节高度为950±50mm；

•清洗机由输送轨道、读码组件（预留MES系统对接）、等离子清洗组件、缓存横组组成；

技术参数：